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オーミック接触とは：
1、Ohm接触とは、金属と半導体がOhm接触を形成することを意味し、接触部では純抵抗であり、その抵抗が小さいほど良好であり、コンポーネントの動作時に、ほとんどの電圧が接触面ではなく活動領域に降下することを意味する。したがって、そのI−V特性は線形関係であり、傾きが大きいほど接触抵抗が小さくなり、接触抵抗の大きさはデバイスの性能指標に直接影響する。
図１ オーミック接触
2、オーミック接触は半導体装置にとって非常に重要であり、良好なオーミック接触を形成することは電流の入力と出力に有利であり、異なる半導体材料に対して常に異なる配合の合金をオーミック接触材料として選択する。
3、オーミック接触は金属処理に広く応用されており、実現する主な措置は半導体表面層に高ドーピングを行うか、大量の複合中心を導入することである。
オーミック接触を形成する方法は主に以下の通りである。
ていしょうへきせっしょく
高複合接触
ハイドープコンタクト
